蔡司用于亚10纳米级应用的离子束显微镜ORION NanoFab

发布时间：2023-09-08 10:15
作者：AMEYA360
来源：网络
阅读量：3280

　　蔡司ORION NanoFab离子束显微镜是一款集3种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10nm结构的超高精度加工。它能够快速、精准的亚10纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工、氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构、备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。

蔡司用于亚10纳米级应用的离子束显微镜ORION NanoFab

　　产品特点：

　　蔡司ORION NanoFab离子束显微镜是一款集3种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10nm结构的超高精度加工。它能够快速、精准的亚10纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：

　　氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。

　　氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。

　　备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。

　　ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。


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