高性能芯片的基石:半导体封装技术全解析!

Release time:2026-02-06
author:AMEYA360
source:网络
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  半导体封装是电子制造的关键环节,它将半导体芯片封装在保护性和功能性封装中,以确保其可靠性、性能以及与电子设备的集成。这些封装充当着连接微型敏感半导体芯片和更广泛电子系统的桥梁,提供电气连接、热管理和环境保护。半导体封装技术已取得显著发展,以满足人们对更小、更快、更高效的电子设备的需求,从传统的引线封装到先进的倒装芯片、系统级封装 (SiP) 和 3D 封装。这些封装创新在智能手机、物联网设备、数据中心和汽车电子设备等各种现代应用的驱动中发挥着至关重要的作用。

  一、半导体封装的历史

  在半导体行业的形成期,半导体器件采用金属罐和陶瓷封装。这些封装旨在为精密的半导体芯片提供基本保护,并实现与外部电路的电气连接。然而,它们体积相对较大、笨重且功能有限。随着半导体技术的快速发展,对更小、更高效的封装解决方案的需求日益增长,以适应半导体芯片尺寸的不断缩小。这推动了双列直插式封装 (DIP) 和表面贴装封装等创新封装技术的发展。双列直插式封装无法支持高引脚数,因此需要能够容纳大量输入/输出 (IO) 的高密度互连 (HDI) 解决方案。这催生了倒装芯片封装,也称为受控塌陷芯片连接 (C4)。为了实现高集成度,设计人员在 20 世纪 70 年代左右发明了 MCM(多芯片模块)。

高性能芯片的基石:半导体封装技术全解析!

图1:半导体封装的历史

  二、半导体封装材料

  半导体封装材料在保护和互连设备的同时,确保其可靠性和性能方面发挥着至关重要的作用。

  基板:基板可以是有机基板,也可以是陶瓷基板。有机基板具有良好的电绝缘性能,是一种经济高效的封装解决方案。陶瓷基板通常用于需要良好导热性的高频应用。

  封装材料:封装材料保护芯片免受环境因素、湿气和机械应力的影响。环氧模塑料 (EMC) 具有良好的附着力和电气绝缘性能。然而,液晶聚合物 (LCP) 因其低介电常数和低损耗角正切,更适合高频应用。

  互连材料:金线键合通常用于半导体芯片和封装之间的电气连接。无铅焊料(锡-银-铜合金)材料用于将半导体芯片连接到基板。

  底部填充材料:底部填充材料用于填充半导体芯片和基板之间的间隙,以增强机械稳定性和可靠性。底部填充材料还能提高导热性,从而改善散热效果并降低过热风险。常见的材料包括环氧树脂(粘合性更佳)、聚酰亚胺(热稳定性更佳)或硅酮(机械稳定性更佳)。

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图2:倒装芯片底部填充封装工艺

  三、半导体封装的类型

  四方扁平 封装(QFP)

  四方扁平封装 (QFP) 是一种经典的半导体封装,其特点是扁平、方形或矩形,引脚从四边延伸。QFP 有多种尺寸,引脚排列成网格状。它们通常用于需要中等引脚数的集成电路 (IC)。QFP 在组装和返工过程中易于操作。

  球栅阵列(BGA)

  球栅阵列 (BGA) 封装的特点是封装底部布满了焊球阵列,而非引脚。这些焊球与 PCB 上的相应焊盘接触,从而增强了散热性能并降低了电气干扰的风险。BGA因其紧凑的尺寸、出色的散热能力和抗机械应力的能力,在现代电子产品中得到了广泛的应用。

  芯片级封装(CSP)

  芯片级封装 (CSP) 的尺寸设计几乎与其封装的半导体芯片尺寸相同,从而最大限度地减少了空间浪费。CSP 非常适合对尺寸和重量有严格要求的应用,例如移动设备和可穿戴设备。它们通常使用间距极细的焊球或铜柱进行连接。

  晶圆级封装(WLP)

  晶圆级封装是一种将多个半导体器件在晶圆级封装后再切割成单个芯片的技术。这种方法可以降低制造成本并提升器件性能。晶圆级封装 (WLP) 可以实现超紧凑和高密度封装,非常适合 MEMS 器件和传感器等应用。

  3D IC 和堆叠封装

  3D IC 封装是指将多个半导体芯片堆叠在一个封装内,并通过硅通孔 (TSV) 进行互连。这种封装技术可以实现更高的集成度、更低的信号延迟和更佳的性能。堆叠封装常用于高性能计算、显卡和内存模块等高级应用,以在节省空间的同时提升处理能力和内存容量。

  四、半导体封装的关键考虑因素和主要挑战

  半导体封装设计是一个复杂且不断发展的领域,在当今快速发展的技术环境中面临着各种挑战。以下是主要挑战:

  小型化和集成化:根据摩尔定律,电子设备体积越来越小,功能却越来越强大。封装设计如何在保持封装性能和可靠性的同时,满足小型化和集成化的需求,变得越来越具有挑战性。

  由于封装上用于元器件和互连的空间越来越小,信号完整性、功率传输和热管理等问题也面临着独特的挑战,需要创新的解决方案。

  热管理:对高性能和减小整体面积的持续需求意味着 IC 的功率密度必须很高。过热会缩短 IC 的使用寿命并影响性能。封装设计旨在更好地散热,而散热器、导热片和先进的热界面材料等先进的散热解决方案对于高效散热至关重要。此外,3D 封装和集成冷却解决方案的兴起,通过提供更佳的散热途径来应对这些挑战。

  先进材料与兼容性:半导体行业致力于采用具有更佳电气、机械和热性能的材料来设计封装。封装需要与硅、有机基板和焊料等其他材料进行接口,而这些材料可能具有不同的热膨胀系数 (CTE)。这些差异会在温度循环过程中产生热应力,从而可能导致封装故障。使用低 CTE 材料,例如铜钨 (CuW)、铝碳化硅 (AlSiC)、可伐合金等,可以减少热失配的影响,并提高封装的可靠性。

  信号完整性和电气性能:随着数据速率和处理速度的不断提高,保持半导体封装中的信号完整性和电气性能变得越来越重要。高频信号易受干扰、串扰和阻抗失配的影响。设计人员需要考虑传输线效应、电磁干扰 (EMI) 和电源完整性等因素,以确保信号无失真或无损耗地到达目的地。

  封装成本:封装成本在半导体器件总成本中占比很大。为了提高器件的竞争力,同时又能让消费者负担得起,设计公司努力在保持性能的同时降低封装成本。

  环境问题:电子垃圾对环境和人类健康有害。人们一直致力于使用环保材料和可回收材料进行半导体封装。

  含铅焊料曾经广泛用于半导体封装,但出于对环境的考虑,无铅焊料已成为标准。

  铜通常用于各种互连,并且可以回收利用。

  许多半导体封装采用塑料或聚合物材料作为封装材料、模塑料和封装结构。这些材料有时可以回收利用。

  玻璃基板通常用于微机电系统(MEMS),回收玻璃可以减少半导体封装对环境的影响。

  异构集成:将存储器、传感器、射频 (RF) 组件等不同技术集成到单个封装中称为异构集成。这具有诸多优势,包括提高数据传输速率、降低功耗、增强设备性能以及缩小占用空间。异构集成面临着独特的挑战,包括不同技术之间的材料兼容性问题,以及不同组件在不同功率水平下工作时产生的热点管理问题。

  五、半导体封装的创新

  半导体封装面临的挑战也为创新蓬勃发展提供了机遇。以下是目前一些正在使用的先进封装技术:

  系统级封装 (SiP):SiP 是一种先进的半导体封装技术,它将多个异构半导体元件(例如逻辑元件(微控制器或应用处理器芯片、存储器等)、无源元件(电阻器、电容器和电感器)、存储器元件和互连(微凸块、引线键合或 TSV))集成在一个封装内。SiP 具有许多优势:

  紧凑型设备:将组件集成到单个封装中可形成紧凑型设备,这对于智能手机和可穿戴设备等便携式设备尤为重要。

  增强性能:SiP 最大限度地缩短了互连长度,从而减少了信号延迟,这对于高速和高频应用至关重要。

  更高的功率效率:除了缩短信号互连长度外,SiP 内的电源分配网络也得到了更好的优化。这对于电池供电设备至关重要。

  降低制造成本:SiP 减少了需要在电路板上组装的单个组件的数量,从而降低了总体制造成本。

  扇出型晶圆级封装 (FOWLP):传统的封装方法是将单个芯片封装并安装到印刷电路板上。FOWLP 则需要将芯片重新分布并正面朝上放置在大型晶圆尺寸的基板上。这种重新分布技术可以创建紧凑、高度集成的封装,将多个芯片、无源元件和互连集成在一个结构中,其中电气连接位于芯片的有源侧,连接到基板。

  FOWLP具有小型化、更高的热性能、成本效益和增强的电气性能等优势,使其成为智能手机、物联网设备、汽车电子产品和射频模块等广泛应用的热门选择。

  硅通孔 (TSV) 和 3D IC 封装:硅通孔(TSV) 是 3D 集成电路中使用的一项关键技术,可实现单个封装内多个半导体芯片或层的垂直集成。TSV 是穿透硅基板的垂直互连结构,为不同层级的芯片或元件提供电气连接。

  TSV 是贯穿 3D IC 堆栈中每个芯片或层的硅基板的圆柱形或垂直孔。它们内衬绝缘材料以防止电气短路,并填充铜或钨等导电材料以提供电气通路。

  垂直集成技术允许多个芯片垂直堆叠,从而促进了晶体管微缩的革新。这有助于缩短互连长度,提高集成密度,同时提升功率效率。

  嵌入式多芯片互连桥接 (EMIB):EMIB 是英特尔开发的一种先进半导体封装技术。EMIB 技术旨在解决在单个封装内集成异构半导体芯片的挑战。它使用横跨基板的嵌入式桥接技术,从而为集成芯片之间的数据传输提供高速、低延迟的路径。它还使用微柱等细间距互连技术在集成芯片之间建立电气连接。这通过减少信号延迟实现了高效的数据传输,并由于互连长度缩短而提高了电气性能。

  总而言之,半导体封装是连接复杂的半导体芯片世界和驱动我们现代生活的多样化电子设备的重要桥梁。从早期的金属罐到3D集成的尖端发展,半导体封装改变了我们的世界,使连接我们、娱乐我们并推动我们产业发展的设备成为可能。

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半导体封装生产线工艺流程研究
     半导体封装生产线工艺流程主要分成前道工序和后道工序两个部分。前道工序有一定的复杂性,技术难点多,一旦发生变动,会涉及多个环节,流程与设备、批次会相互影响,这也是半导体前道工序的特殊性。后道工序实施过程涉及的环节较少,操作也比较简单,但受到品种多等因素影响,需要经过分批等环节,进一步增强了工艺流程的复杂性。半导体封装后道工序具有流程型特点和离散型特点,属于混合型工艺流程。后道工序主要对半导体芯片实施封装,我国厂商多为后道封装生产商。因此,相关人员有必要开展深入调查分析,进一步研究半导体封装生产线工艺流程,为相关产业发展提供依据。  1 半导体分类  如今,半导体封装工艺得到进一步优化,半导体封装中逐渐引入各种自动化设备,自动化设备的全面普及成为社会热点,将影响半导体封装工艺效果。  半导体封装工艺是通过一些细微的加工技术,实现芯片和其他要素之间的整合,如框架等部分,利用可塑性绝缘介质增强后续的灌封固定效果,采用立体结构形式,优化半导体封装生产线工艺流程。  半导体材料多种多样,可以根据化学成分将其划分成如下部分:①元素半导体,硅和锗是两种常用元素。②化合物半导体,包含砷化镓、磷化镓等。不仅有 晶 态半导体,也有 非晶态半导体,主要包括玻璃半导体和有机半导体。对半导体进行分类时,可以根据制造技术将其划分成集成电路器件,包括分立器件、光电半导体、逻辑集成电路等,以上部分也可详细为不同的小类。也可以将运用范围、设计方法等作为分类标准,或严格遵循集成电路、规模等形式进行分类。  2 半导体封装目的  半导体封装属于后道工序,进一步对已经加工完成的半导体进行分割等工作,最终完成塑封成型。半导体封装有一方面可以为芯片提供支撑,使芯片与电路更好地连接;另一方面可以通过固定外形,增强对器件的支撑,确保器件不容易受到损坏。能否增强半导体可靠性是衡量整个封装生产线工艺流程是否标准的一个因素。未封装的半导体一旦脱离特定环境,容易受到严重损坏,这也是实施封装的主要原因。半导体芯片的工作效果及工作时长与封装材料和封装工艺有紧密关联。  3 半导体封装生产线工艺流程  现阶段,半导体封装生产线工艺流程研究取得了进一步发展,虽然迎来发展机遇,但也面临很多发展挑战。半导体封装生产线工艺流程涉及多方面问题,需要针对材料和工艺等方面进行深入研究,为优化半导体封装生产线工艺流程奠定坚实基础,为电子产品、电子科技发展提供支持。  3.1 半导体磨片  半导体磨片技术也可以称之为背面磨片技术,半导体经过打磨后才能进行装配环节。在磨片工序,工作人员要选择配比科学的离子水,将其均匀地喷洒到需要的材料上面,并将半导体硅片厚度控制在 200~500 μm。半导体硅片厚度是影响半导体设备性能的主要原因,若硅片厚度没有达到标准,不仅会影响散热效果,还会对集成电路管造成严重影响,导致其厚度不够精准,质量也不达标。随着信息技术的引入,将自动化设备和半导体封装生产线工艺流程结合,能 够更好地使磨片工序与划片工序协同发展。  3.2 半导体划片  半导体划片工序是指利用划片锯从硅片上切割半导体芯片,划片锯一般都采用金刚石刀刃,以确保有效进行切割。在进行划片时,需要从规定位置取出硅片,将其放置在刚性框架中的贴膜位置,并将其固定。通过贴膜保护硅片,之后喷洒离子水,将硅片放置在原锯上,利用标准厚度的金刚石刀刃切片锯进行划片,从X、Y 两个不同方向进行切割,最终保证切透处理度达到90%~100%。完成划片工序后,小硅片应保持完整,再通过后续的装片工序将小硅片完好取出。  3.3 半导体装片  装片工序是指工作人员完成半导体材料划片工序后,将架子上的硅片转移并进行装片。采用自动贴片机取下芯片,确定引线框架实施安装,开启引线框架的通信功能,将其与自动贴片机连接,完成硅片转移。引线框架可以分析硅片有无墨点,确保芯片质量,进一步选择符合标准的芯片,最终完成装片。其中需要重点关注的是,装片整个过程要设定专人监督,以保证装片工序更完善。大多数情况会选择环氧树脂作为粘贴使用的材料;装片过程中运用的引线框架大多数是厂家专门定制,有对应的规格和标准。在半导体封装生产中,要关注特殊的半导体芯片,使用有针对性的引线框架,一般厂家都会提供相应的引线框架,特殊半导体在生产中需要的时间也较长。  3.4 半导体芯片键合  半导体芯片键合工序主要是对芯片表面进行操作,选择对应铝压电与引线框架中的电极内端实施电气连接。大多数情况,键合线选择的都是铜质材料,引线直径要严格控制在25~75 μm,并保证芯片的压点间距为70μm。半导体芯片键合有热压键合、超声键合、热超声球键合3种方式。工作人员需要重点关注,半导体芯片脚管要处于完全键合状态,一个芯片至少要有两个脚管,还有一些芯片中含有数百个脚管。要想全面保证半导体封装取得更好的效果,在芯片键合工序也要设置专门的工作人员进行监督,确保各个步骤都顺利开展。  3.5 半导体塑封  半导体塑封工序通常采用传统封装、塑料封装、陶瓷封装3种模式,其中,塑料封装的使用频率最高,使用范围也更大,很多芯片都运用塑料封装。塑料封装能够利用环氧树脂材料,结合引线框架对已经键合的芯片进行包装。实际开展塑封工作时,工作人员要先进行预热工作,选择引线键合芯片、引线框架,将芯片放在压膜机的对应位置,之后关闭压膜机,压膜机中半溶状态的树脂材料挤压进入对应模具,需要静待一定时间,确保树脂完全填充并处于硬化装填状态,完成一个完整的半导体塑封流程。塑料封装与其他封装技术相比,不仅具有成本低的优点,还能防止半导体中存在其他杂质,如水汽等。整个塑封环节要确保封装模具的完整性,根据半导体材料和尺寸,选择有针对性的封装模具。其中要重点关注,在 装 箱 之 前 ,塑封工序所处的环节并不固定,需要进一步分析设备实际情况以及芯片加工的实际过程,利用设备完成各个工序。例如,生产双边直插式阵列可在塑封的同时,实施去废边工序,同时也可以开展打弯和测试工序,有些一体化设备可集合多个工序。  3.6 半导体去废边  半导体封装生产中去废边这一工序也被称为剪切和成型。芯片完成塑封工序后部分存在管脚,主要是从集成电路管壳中延伸出去,通过装配延伸到电路板上,并且在一些管壳周围存在部分没有用的材料,如多余的连接材料等,都需要做好去除工作。去废边工序就是去除管壳周围没用的材料,保证管壳周围更加整齐。  3.7 半导体电镀、打弯、激光打印  首先,电镀工序是在脚管完好成型后添加一层脚管涂层,预防脚管氧化、遭腐蚀。在运用电镀沉淀技术时,优先选择锡作为焊料。其次,打弯工序也可以叫作脚管成型工序,要确保铸模处于完整状态,对脚管进行再次加工,将其加工为需要的形状,如J形状或L形状的脚管,之后在表面进行贴片,完成封装工作。另外,也可以运用直插式浇灌。最后,激光打印工序需要提前了解、掌握设计图案,通过相应的半导体激光设备,采用科学方式将设计图案完整印在芯片表面。  3.8 半导体测试  测试工序是半导体封装生产线工艺流程中不能缺少的关键环节,但很多测试设备消耗的费用较高,一旦忽视就会影响产能。测试工序主要包括外观检.  测和电气性能检测两个部分内容。在检测电气性能的时候,要将重点放在集成电路测试方面,可以使用自动测试设备进行单芯片测试。开展测试时,要将不同集成电路插入测试仪中,保证和电气小孔进行有针对性的连接,在每一个小孔内都设有一定的针,这种针具有较强的弹性,通常被叫作弹簧针。要让芯片脚管和弹簧针紧密连接,确保电气性能测试更加精准。在检测外观时,需要检验人员利用显微镜对封装元器件开展多方面观察,观察元器件表面是否存在缺角等问题,保证元器件外观完整。  3.9 半导体包装、人工装箱  包装工序是根据半导体元器件类型进行不同包装,如卷盘和料条等。料条大多数用在封装直插型半导体,卷盘通常用在封装贴片型半导体。针对一些具有特殊性的封装情况,工作人员会通过特殊设备开展包装、测试工作,确保包装工作更全面。  人工装箱工序是工序段中的基本环节,需要将一定数量的半导体放置在包装箱内。例如,可以将1500 只半导体元器件放置在一个包装内,在箱子外部做好信息标记,重点确保条码以及芯片信息准确,并将其明显打印在包装上。再结合订单对小包装进行分配,整合小包装放置在大包装内,为 后续运输工作提供一定便捷。完成大包装装箱,也要在包装的外部做好信息标记,通过信息打印展示小包装内的相关信息。  总之,半导体封装生产线工艺流程具有一定的复杂性,每个工序都有重要的作用,任何工序缺失都会直接影响芯片性能,甚至降低芯片可靠性。这就需要提升对制造商的要求,确保半导体封装生产线工艺流程更加规范,保证具有较高的稳定性。  4 结语  随着电子科技的发展,半导体封装工艺也成为全新半导体元器件生产的必要工艺,需要从不同角度进行全面探究,使工作人员对其内涵有深入了解。相关人员有必要提升对半导体封装生产线工艺流程的重视程度,掌握前道、后道工序开展的重点,深入研究封装各个工序的实际内容,第一时间发现工艺中存在的不足,针对这些不足制定有效的解决方法。可以引入比较先进的自动化技术,创新半导体封装工艺;也可以借鉴更多先进国家的工艺经验,结合我国半导体封装生产实际情况,保留相符合的技术。加深对半导体封装工艺的全面研究,从根本上提升半导体材料制作效率,并从工艺流程方面保证生产质量,为 我国半导体材料发展提供全面支持。
2025-03-05 09:30 reading:1403
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