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六种常见的MEMS传感器其原理介绍

Release time：2022-08-02

author：Ameya360

source：网络

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MEMS传感器是最常用的传感器之一，为了继续增进大家对MEMS传感器的认识，本文Ameya360将详细介绍六种常见的MEMS传感器其原理！

六种常见的MEMS传感器其原理介绍

1、MEMS压力传感器

微机械压力传感器是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，压阻式和电容式两类，压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01%,年稳定性达0.1%/F.S，温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。

(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的压力传感器。

(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。

(3)提高工作温度，研制高低温压力传感器。

2、MEMS加速度传感器

MEMS加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。

3、MEMS陀螺传感器

角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。这种陀螺仪的精度很高，但它的结构复杂使用寿命短成本高，一般仅用于导航方面，而难以在一般的运动控制系统中应用。

4、MESM流量传感器

MEMS流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量量级而且死区容量小，响应时间短，适合于微流体的精密测量和控制。国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式(包括热传导式和热飞行时间式)、机械式和谐振式3种。

5、MEMS气体传感器

根据制作材料的不同，微气敏传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器。其中前者以硅为衬底，敏感层为非硅材料，是当前微气敏传感器的主流。微气体传感器可满足人们对气敏传感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如许多气敏传感器的敏感性能和工作温度密切相关，因而要同时制作加热元件和温度探测元件，以监测和控制温度。

6、MEMS温度传感器

MEMS传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特点，其固有热容量仅为10J/K～10J/K，使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。

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行业新闻

应变传感器的组成及分类及工作原理介绍

　　应变传感器是一种广泛应用于工程领域的传感器，用于测量物体受力后产生的应变变化。本文将详细介绍应变传感器的组成、分类以及工作原理。　　1. 组成　　应变传感器通常由以下几个基本部分组成：　　应变片(Strain Gauge)：这是应变传感器的核心部件，用于测量物体表面的微小变形。应变片通常由金属薄膜制成，其电阻值随外力引起的应变而变化。　　支撑结构：用于支持和固定应变片，保证其在受力时能够准确感知应变。　　连接线：将应变片与测量仪器或数据采集系统相连，传递应变片所测得的信号。　　2. 分类　　根据不同的工作原理和应用场景，应变传感器可以分为以下几种主要类型：　　电阻式应变传感器：最常见的应变传感器类型，利用应变片的电阻值变化来测量应变。　　压电应变传感器：利用压电效应来转换机械应变为电荷输出。　　电容式应变传感器：利用电容变化来测量应变，通过电容的变化来获取应变信息。　　光纤应变传感器：利用光学原理来测量应变，通过光纤中的光信号变化来检测应变。　　3. 工作原理　　3.1 电阻式应变传感器工作原理　　当物体受力导致应变时，应变片上的电阻值发生微小变化。　　连接线传递这一变化至电桥电路或测量仪器。　　通过测量电桥中电阻的变化或电流的变化来确定物体受力情况。　　3.2 压电应变传感器工作原理　　压电材料会因应变而产生电位差。　　当物体受力产生应变时，压电材料会产生电荷输出。　　通过测量电荷输出来确定物体的应变状态。　　3.3 电容式应变传感器工作原理　　应变导致电容器介电常数发生变化。　　电容变化会导致整个电路的频率或幅度变化。　　通过测量电路中频率或幅度的变化来判断应变情况。　　3.4 光纤应变传感器工作原理　　光纤中的光信号会随应变导致光程长度的微小变化。　　通过监测光信号的强度或频率变化来测量应变量。　　适用于需要高精度和远距离传输的应变测量场合。　　4. 应用领域　　应变传感器在各行业中具有广泛的应用，包括但不限于以下领域：　　航空航天：用于监测飞机结构的应变情况，确保航空器的安全运行。　　汽车工程：用于测试汽车零部件的强度和耐久性，优化设计和改进性能。　　土木工程：用于监测建筑结构、桥梁和道路的应变情况，确保结构的稳固和安全。　　制造业：用于监测设备和机械零部件的应变，预防故障和提高生产效率。　　地震监测：用于监测地壳运动产生的应变，预警地震风险并保护人们生命财产安全。

2024-12-04 09:37 reading：464

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